精密制御機器部品
ハーモニックドライブ®
ハーモニックドライブ®は産業用ロボットや半導体製造装置に組み込まれる「高精度減速機」で、わずか3点の基本部品から構成されているユニークなメカニズムにより精密なモーションコントロールを実現します。
信頼性の高い精密減速機として幅広い用途に使用されており、軽量化、省スペース化、トータルコストの低減に貢献します。
CSF-2UPシリーズ
CSF miniシリーズ
CSF/CSGシリーズ
SHF/SHGシリーズ
GHシリーズ
SHDシリーズ
画像提供：株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ様
ハーモニック・ドライブ®は、多様な分野で幅広くご採用いただいています。
ロボット
用途
工業用ロボット
アミューズメントロボット
ロボット周辺装置適用部
関節駆動
ハンド駆動
走行軸駆動
インデックステーブル
周辺装置
多関節ロボット
用途
多関節ロボット
適用部
関節駆動
ハンド駆動
視覚センサ駆動
トルクセンシング駆動
画像提供：株式会社ダイヘン様
ハーモニックプラネタリ®
ハーモニックドライブ®の精密加工技術の蓄積を低減速比の分野にも活かすことにより生まれた、高精度・高剛性の遊星減速機です。独自のバックラッシ除去機構を備え、高い回転精度を実現しました。
さらに取り扱いのしやすい、サーボモータ用高性能ギヤヘッドと中空軸構造のユニットタイプを製品化。多様化するニーズにトータルな技術でお応えします。
HPGP/HPG フランジタイプ
HPGP/HPG 入力軸タイプ
HPG-UI 入力軸タイプ
HPG-RA 直交軸タイプ
HPFシリーズ
画像提供：株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ様
ハーモニックプラネタリ®は、多様な分野で幅広くご採用いただいています。
製紙機械
用途
製紙機
段ボール製函印刷機械適用部
コーティング工程ローラ位置決め駆動
紙厚調整機構駆動
切断用ナイフ位置決め
切断用ナイフ走行駆動
包装・荷造機械
用途
封し機
ラベル印刷機
ラベル貼付機
ロボット
ワーク搬送装置適用部
軸同期駆動
ロール同期駆動
関節駆動
台車駆動
回転系アクチュエータ
優れた角度伝達精度・回転精度のハーモニックドライブ®と超扁平ACサーボモータなどを組み合わせた、低速高トルクアクチュエータです。アクチュ エータの性能を十分に引き出す専用コントロールユニットとの組み合わせで、精密な回転精度・位置精度のサーボシステムを実現します。
SHAシリーズ
FHAシリーズ
FHAminiシリーズ
RSE miniシリーズ
画像提供：株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ様
回転系アクチュエータは、多様な分野で幅広くご採用いただいています。
半導体製造装置
用途
マスク・レチクル製造装置
ウェハ製造装置
ウェハプロセス装置
組立装置
検査装置
ワーク搬送装置適用部
搬送装置
各部位置決め駆動
インデックステーブル
直動テーブル
ワーク反転装置
テンションコントロール装置
ハッチ開閉駆動
医療機械
用途
封し機
ラベル印刷機
ラベル貼付機
ロボット
ワーク搬送装置適用部
軸同期駆動
ロール同期駆動
関節駆動
台車駆動
直動系アクチュエータ
精密ネジとハーモニックドライブ®をコンパクトに組合せたリニアアクチュエータです。ミクロンレベルの位置決めが必要な検査・測定機器、光学機器、半導体・液晶板製造装置などの超精密位置決め用途に最適なアクチュエータです。その選択範囲は50～12,000Nとなっており、幅広いトルク選択が可能になりました。
LAシリーズ
LAHシリーズ
LBCシリーズ
画像提供：株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ様
直動系アクチュエータは、多様な分野で幅広くご採用いただいています。
測定・分析・試験機器
用途
光分析装置
三次元測定器
金属引張試験機
土柱耐力試験機適用部
搬送装置
各部位置決め駆動
プリズム位置決め駆動
インデックステーブル
直動テーブル
ワーク反転装置
望遠鏡
用途
集光鏡調整機構
電磁波マイク調整機構
主鏡姿勢制御装置
メンテナンス用ロボットアーム適用部
X-Y-Z軸駆動
関節駆動機構
光学関連
小型モータと独自に開発した光学センサ技術を組み合わせて製品化したガルバノ式光学スキャナです。
専用ドライバとの組み合わせにより、連続走査（スキャニング）、任意位置決め（ランダム・アクセス）などの最適走査が可能となります。
LSAシリーズ
画像提供：株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ様
ガルバノ式光学スキャナは、多様な分野で幅広くご採用いただいています。
通信機器
用途
アンテナ
マイクロフォン
カメラ
波長分波装置適用部
雲台駆動
昇降軸駆動
プリズム駆動
サーボドライバ
オープンフィールドネットワークに対応したAC サーボドライバです。アクチュエータの性能を十分に引き出す多くの機能を備えています。
HAシリーズ
画像提供：株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ様
